ULVAC愛(ài)發(fā)科  螺桿型干式真空泵  LS120A LS300A LS600A LS1200A

特點(diǎn)

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時(shí)間可縮短約20%。

■標(biāo)配的專(zhuān)用消音器能解決干式真空泵的噪音問(wèn)題。極限壓力時(shí)的噪音值在61dB（A）以下，

　這是一個(gè)在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中也不會(huì)打擾到您的噪音等級(jí)（*1)）

■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛(ài)發(fā)科技術(shù)。

　該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)

■LS系列無(wú)需軸封氣體。以氮?dú)夂涂諝獾鹊呐艢鉃橹鞯那鍧嵐に嚳山档瓦\(yùn)行成本（*3)

■希望進(jìn)一步提高排氣速度的話(huà)，建議您搭配機(jī)械增壓泵使用。

　通過(guò)組合使用排氣速度可以達(dá)到120～1200m3/h

用途

LS系列有兩種規(guī)格。

首先是面向清潔工藝的規(guī)格。

為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。

具體來(lái)說(shuō)，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規(guī)格。

具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。

具體來(lái)說(shuō)諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等

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